基于多项式的二维PSD非线性校正算法研究

针对位置敏感探测器PSD的非线性,综合分析现有非线性校正方法,提出利用多项式拟合算法对PSD的非线性进行校正。利用二维平移台搭建二维PSD标定系统,详细论述多项式校正的方法,并通过实验数据对比,选择二元三次多项式完成校正。通过PSD光敏面上不同点的测量对多项式校正算法进行验证。实验结果表明,校正后的测量误差均方差不大于0.0185。