高纯NF3气体管路系统的预处理

高纯三氟化氮气体在电子工业中有着广阔的应用前景,在生产过程中常存在微粒子的污染问题,本文介绍了目前工业化生产三氟化氮(NF3)过程中微粒子产生的原因及几种不锈钢管路和阀门、附件的处理方法。     

电子特种气体及我国发展现状

本文研究了电子特种气体的种类、纯度以及在半导体工业中的应用状况,从技术上讨论了电子特种气体的纯净度对半导体工业的影响。结合国内电子特种气体的市场综述了国内电子特种气体的生产厂家及其现状,指出了国内电子特种气体产业存在的问题以及我国电子特种气体产业的发展前景。     

氟化钠吸附氟化氢最佳工艺参数测定

氟化钠(NaF)是一种很好的吸附剂,有着吸附氟化氢(HF)的特性,在电子气体的生产中经常被用来吸附HF,在含氟电子气体的纯化工艺中有着极为重要的应用.本文通过正交实验测定氟化钠在不同的吸附条件下吸附氟化氢杂质的吸附效果,对实验结果进行方差分析,并评价了各因素对吸附效果的影响.实验表明:NaF对HF有很好的吸附能力,在最佳的操作条件下,吸附率达100%;适合的吸附温度为20 ℃～80 ℃;吸附率随气体流量的增大而降低;压力对吸附率的影响不明显.     

氟化钠吸附氟化氢最佳工艺参数测定

氟化钠（NaP）是一种很好的吸附剂,有着吸附氟化氢（HF）的特性,在电子气体的生产中经常被用来吸附HF,在含氟电子气体的纯化工艺中有着极为重要的应用。本文通过正交实验测定氟化钠在不同的吸附条件下吸附氟化氢杂质的吸附效果,并对实验结果进行方差分析,并评价了各因素对吸附效果的影响。实验表明：NaF对HF有很好的吸附能力,在最佳的操作条件下,几乎可实现完全吸附;适合的吸附温度为20℃-80℃;吸附率随气体流量的增大而降低;压力对吸附率的影响不明显．     

填料塔中液体分配对分离的影响

研究了填料塔中液体分配对分离的影响,详细讨论了液体分配不均程度对分离的影响以及液体的初始分布对分离的影响。为了使填料塔能够得到设计的分离效果,液体在填料层中的分布要尽快达到自然流分布,消除液体分配不均对分离的影响。