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郭向京 《舰船防化》2001,(C00):54-62
半导体气体敏感元件具有体积小，灵敏度高，响应和恢复时间短，选择性较好且成本低，检测线路简单等优点，我们对氟里昂半导体气体传感器进行了研究。本文阐述了该传感器的原理，制作工艺，检测方法并对其测度的参数数据进行了讨论.  相似文献   
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