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在分析GCT/GTO阴极结构的基础上,指出了阴极失效梳条的成因及其危害,就减少失效梳条带来的影响,介绍了阴极梳条修理方法和装置。实际生产的统计数据表明,修理梳条方法降低了GCT和GTO芯片废品率和生产成本。 相似文献
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