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目前,关于氧化物薄膜晶体管(TFT)的报道大部分是关于n型的.为进一步扩大集成电路的应用范围,需要制造稳定、高性能的P型氧化物TFT.传统的真空镀膜技术依赖于昂贵的设备、苛刻的真空环境等,不仅增加了生产成本,而且不利于大面积器件的制备.溶胶—凝胶法工艺成本低,操作简单,易实现大规模制备.文章重点阐述了溶胶—凝胶法和几种...  相似文献   
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