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以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钛和金为电极材料,通过氧化SiO2绝缘层、磁控溅射平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化,制作了平行板电容式湿度传感元件.介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理,测试了成品的湿敏特性,对测试结果进行了分析.结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、性能稳定,可满足湿度测量的要求,其性能主要取决于聚酰亚胺膜的制备过程,以及栅状上电极的结构. 相似文献
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基于张掖市某地下水源热泵供热系统的现场测试数据,计算和分析了供热系统的供热效果及能量利用,结果表明:测试期内热用户室内温度满足设计要求,热源系统、热泵大机组和热泵小机组的性能系数COP分别为3.67、4.3和6.24,水源井无热贯通现象. 相似文献
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新型采暖产品应用的探讨 总被引:2,自引:0,他引:2
指出了传统采暖方式的弊端,从适应环境保护和能源持续发展的趋势,以及满足人们对采暖质量日益增长的需求出发,介绍了一种新型采暖方式及设备-低温辐射电热膜的特点、原理及系统组成。 相似文献
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