高纯六氟化钨的生产工艺综述

六氟化钨在电子工业中有着广阔的应用前景,本文介绍了目前工业化生产高纯六氟化钨(WF6)的方法,六氟化钨的质量标准及分析检测方法等方面的内容,概述了六氟化钨的发展前景。     

氟化氢的分析方法研究

本文在对氟化氢的性质进行简单介绍的基础上,对氟化氢的分析方法进行了阐述。首先针对常用的分析方法:化学滴定法、比色法、氟离子选择电极法和离子色谱法的应用原理及优缺点进行了介绍;另外针对近年来发展起来的一些新的分析方法:荧光分析法、发射光谱法、流动注射系统测氟法和傅立叶红外光谱法对氟化氢的分析进行了阐述。分析者可以根据对所分析氟化氢的不同精度要求,选择方便、经济的分析方法。     

气相色谱法分析六氟化钨中的杂质

利用气相色谱法,分析六氟化钨中微量气体杂质的含量.由于六氟化钨有很强的腐蚀性,在对其进行分析时,要对气相色谱仪进行改造.本文设计了一个反吹双通路分析系统,在六氟化钨中的气相杂质进入检测器后,可以及时将六氟化钨反吹出去,从而既可保证分析的准确性,又可避免六氟化钨对仪器的腐蚀.此外,本实验还结合仪器以及被测样品本身的性质,通过正交实验确定了气相色谱仪的最佳操作参数.在此基础上,利用一系列标准气体,确定了采用不同的色谱柱进行分析时,仪器最佳的反吹时间,从而保证分析的准确性和安全性.最终可以准确地对六氟化钨中的四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、氧气、氮气和一氧化碳等痕量的气体杂质进行分析,确定了对六氟化钨中气体杂质的分析方法.     

SEMI C3．52-0200 99．996％六氟化钨（WF6）标准

该标准是由全球气体委员会技术批准，北美委员会直接负责。本版是由北美区域标准委员会于1999年11月15日批准。2000年2月开始生效（www．semi．org），2000年2月出版。原版于1995年出版，再版于1996年。     

高纯六氟化钨中金属杂质的分析

本文结合六氟化钨的性质,对超高纯(99.999%)六氟化钨中的金属粒子进行分析。本文设计了一个密闭的半定量取样管路,可以准确的完成对六氟化钨中金属粒子的取样。完成取样后,根据各种金属粒子的溶解性质,将所取金属粒子定量转化为待测溶液,然后利用电感耦合等离子质谱分析得到六氟化钨样品中各种金属粒子的含量。     

六氟化钨中气相杂质的分析方法研究

本文利用气相色谱法,分析六氟化钨中微量气体杂质的含量。由于六氟化钨具有很强的腐蚀性,在对其进行分析时,要对气相色谱仪进行改造。本文设计了一个反吹双通路分析系统,在六氟化钨中的气相杂质进入检测器后,可以及时地将六氟化钨反吹出去,从而既可以保证分析的准确性,又可以避免六氟化钨对仪器的腐蚀。此外,本实验还结合仪器以及被测样品本身的性质,通过正交实验确定了气相色谱仪的最佳操作参数,在此基础上,利用一系列标准气体,确定了采用不同的色谱柱进行分析时,仪器最佳的反吹时间,从而保证分析的准确性和安全性。最终可以准确地对六氟化钨中的四氟化碳、四氟化硅、二氧化碳、六氟化硫、氧气、氮气和一氧化碳等痕量的气体杂质进行分析,从而确定了对六氟化钨中气体杂质的分析方法。     

三氟化氮制备方法综述

本文介绍了三氟化氮气体的两种生产方法—直接化合法和电解法,并根据它们的研究发展方向,具体介绍了它们的基本原理、生产工艺以及相关的工艺设备。     

优秀的三维及二维设计软件——Autodesk Inventor^TM5.3中文版介绍

Autodesk Inventor^TM5.3是Autodesk公司出的最新的三维及二维机械设计软件。它包含在Autodesk Inventor Series中。该软件的性能在众多方面优于其它流行的三维设计软件，是当今中端建模设计软件中的佼佼者，但Autodesk Inventor的价格却不到Pro/E的10%，它具有很高的性价比，在我所很值得推广和应用。     

六氟化钨中氟化氢的分析方法研究

本文依据六氟化钨和氟化氢的特殊性质,建立了利用傅立叶红外光谱法分析六氟化钨中的氟化氢的分析方法。氟化氢有八个特征吸收峰,为了尽量避免水蒸气的干扰,本文选取4038.2cm-1处的吸收峰作为氟化氢的特征吸收峰,并通过对不同浓度的氟化氢标准气体的分析建立了氟化氢浓度与其特征吸收峰的吸光度相对应的标准曲线。最后通过分析六氟化钨中氟化氢特征吸收峰的吸光度大小,在标准曲线上查得氟化氢的浓度,即可以得到六氟化钨样品中氟化氢的含量,从而建立了六氟化钨中氟化氢的分析方法。     

六氟化钨中金属粒子的分析方法研究

本文结合六氟化钨的性质,对六氟化钨中的金属粒子进行分析。由于六氟化钨具有腐蚀性而且遇水迅速反应生成三氧化钨和氟化氢,同时金属粒子密度大,只有测定液态六氟化钨中的金属粒子含量结果才是稳定准确的。设计了一个密闭的半定量取样管路,可以准确的完成对六氟化钨中金属粒子的取样。完成取样后,根据各种金属粒子的溶解性质,将所取金属粒子配成可以用于原子发射光谱分析的待测溶液,然后利用原子发射光谱分析即可以得到六氟化钨样品中各种金属粒子的含量。最终分析结果显示,生产的六氟化钨产品可以满足相关技术指标的要求,满足产业化生产的条件。