蚀刻液稳定性的研究

为了得到更好的蚀刻效果,研究蚀刻液的稳定性具有必要性,其实验研究方法显得尤为重要。采用原子发射光谱法得出蚀刻液中Ni2+浓度,间接计算出腐蚀量的数据采集方法,研究了3组不同成分浓度蚀刻液的稳定性,将考察蚀刻速率—腐蚀量的关系与蚀刻速率—时间的关系这2种方法进行了对比实验。实验结果证明:通过蚀刻速率—腐蚀量的关系来考察蚀刻液的稳定性具有可行性和优越性;同时得到,3种蚀刻液中,1B42稳定性最好,且该蚀刻液的最大金属腐蚀量为3g/L。