一种制备c-BN表面硬化层的新方法 |
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引用本文: | 王钧石.一种制备c-BN表面硬化层的新方法[J].学术动态(成都),2004(3):25-27. |
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作者姓名: | 王钧石 |
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摘 要: | 立方氮化硼(c-BN)是一种倍受重视的类金刚石材料。在迄今发现的所有物质中,其硬度居第二位(仅次于金刚石)。此外,c-BN还具有远比金刚石高的热稳定性,极其优良的半导体性和光学性能。因此,c-BN在高温耐磨零件,切削刀具、高温电子元件和光学仪器上得到广泛应用。目前所采用的c-BN薄膜的制备方法主要是:化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积
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关 键 词: | 表面硬化 耐磨零件 切削刀具 立方氮化硼 物理气相沉积 金刚石 CVD BN 新方法 制备 类金刚石材料 |
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