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| 半导体器件喷腐工艺与喷腐机改进 | |
| 引用本文： | 石虹.半导体器件喷腐工艺与喷腐机改进[J].电力机车与城轨车辆,2012,35(2):54-55. |
| 作者姓名： | 石虹 |
| 作者单位： | 株洲南车时代电气股份有限公司,湖南株洲,412001 |
| 摘 要： | 阐述半导体器件表面喷腐(腐蚀)目的及喷腐机工作原理,分析影响表面腐蚀的因素,特别强调温度对腐蚀速度的影响；同时介绍了不同环境温度,不同腐蚀时间对器件性能的影响,为改造喷腐机,提高喷腐质量提供依据. |
| 关 键 词： | 半导体器件 表面喷腐(腐蚀) 喷腐机 |
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