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分类号
杂志ISSN号
半导体器件喷腐工艺与喷腐机改进
作者姓名:
石虹
作者单位:
株洲南车时代电气股份有限公司,湖南株洲,412001
摘 要:
阐述半导体器件表面喷腐(腐蚀)目的及喷腐机工作原理,分析影响表面腐蚀的因素,特别强调温度对腐蚀速度的影响;同时介绍了不同环境温度,不同腐蚀时间对器件性能的影响,为改造喷腐机,提高喷腐质量提供依据.
关 键 词:
半导体器件
表面喷腐(腐蚀)
喷腐机
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