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| 浅谈MEMS(微电子机械系统)技术 | |
| 作者姓名： | Mike Dale 魏巍 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 我们利用MEMS技术制造传感器已经有一段时间了,最具代表性的是压力传感器,在压力传感器中我们用硅来蚀刻振动膜.而目前,采用更成熟的MEMS技术的产品即将进入市场,并且有望在诸如车辆碰撞传感领域取得优势地位. |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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