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| SEMI C3．39-0999三氟化氮（NF3）标准 | |
| 引用本文： | 戴龙侠,杨海龙,刘书子.SEMI C3．39-0999三氟化氮（NF3）标准[J].舰船防化,2005(2):33-37. |
| 作者姓名： | 戴龙侠 杨海龙 刘书子 |
| 摘 要： | 本标准是由世界(国际)气体委员会全体委员技术审查并由北美气体委员会直接负责。本(现行)版是由北美区域标准委员会于1998年10月18日批准，它最早能够在1998年8月www．semi．org上得到，计划于1999年9月出版。原版于1989年出版，再版于1996年。 |
| 关 键 词： | 三氟化氮 检测极限 仪器参数 纯度标准 带热导池检测器 气相色谱法 |
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