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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
SEMI C3.39-0999三氟化氮(NF3)标准
作者姓名:
戴龙侠
杨海龙
刘书子
摘 要:
本标准是由世界(国际)气体委员会全体委员技术审查并由北美气体委员会直接负责。本(现行)版是由北美区域标准委员会于1998年10月18日批准,它最早能够在1998年8月www.semi.org上得到,计划于1999年9月出版。原版于1989年出版,再版于1996年。
关 键 词:
三氟化氮
检测极限
仪器参数
纯度标准
带热导池检测器
气相色谱法
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