光纤PCVD工艺等离子体有源区场的分析

对光纤ＰＣＶＤＤ制造工艺的微波等离子体有源区的性质进行分析，指出微波电场是使反应物电离了决定因素之一，而反应物电离后生成的带电微粒，又影响微波的传输，使微波传输线由原来的驻波状态变为行波状态，进而，对有源区的电子密度分布进行了分析，导出了光纤ＰＣＶＤ工艺有源区微波场满足的文亥姆霍兹方程并进行了数值求解。