无机材料及其电子束蒸发生成的涂层(1)

本文描述了无机物在真空中进行高速电子束蒸发的工艺过程以及控制厚凝聚层(涂膜)沉积、结构和性能的工艺参数。考察了某些厚度从几微米到几毫米的单相和多相的金属、金属-陶瓷、陶瓷合金和陶瓷的沉积例子,包括结构元素尺寸范围很宽的弥散、多层、多孔和多层分级结构的凝聚层。记录了结构的尺寸效应和厚沉积层的机械性能,并对用气相沉积无机材料的实际应用领域作了介绍。