基于高温热裂解的SF_6气体传感器性能研究

提出了采用高温热裂解的方法进行SF6气体检测,克服了使用催化材料的裂解器生成二次产物较少,测量精度低的缺点。实验证明,该SF6气体传感器在20ppm～1000ppm保持了较好的线性,系统的响应时间降低到4分钟,检测下限低至20ppm,有广阔的应用前景。