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扩散炉温度自动调节装置

摘要：	本装置系我所研制大功率硅整流元件及可控硅元件时所用扩散炉的温度自动调节设备,用以实现各种扩散工艺所需要的长时、连续、高温、高精度及宽范围的温度自动调节。主要参数
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