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无机材料及其电子束蒸发生成的涂层(2)
摘 要:
本文描述了无机物在真空中进行高速电子束蒸发的工艺过程,以及控制厚凝聚层(涂膜)沉积、结构和性能的工艺参数。考察了某些厚度从几微米到几毫米的单相和多相的金属、金属-陶瓷、陶瓷合金和陶瓷的凝聚例子,包括结构元素尺寸范围很宽的弥散、多层、多孔和多层分级结构的凝聚层。记录了结构的尺寸效应和厚凝聚层的机械性能,也对用蒸气相沉积无机材料的实际应用领域作了介绍。
关 键 词:
电子束蒸发
气相沉积
厚膜
纳米组织
尺寸效应
机械性能
功能和结构涂层
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