| 高纯六氟化钨的纯化工艺研究 |
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| 引用本文： | 柳彤,王少波,纪振红,王占卫. 高纯六氟化钨的纯化工艺研究[J]. 舰船防化, 2008, 0(6) |
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| 作者姓名： | 柳彤 王少波 纪振红 王占卫 |
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| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
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| 摘 要： | 六氟化钨(WF6)在电子工业中有着广阔的应用前景。采用吸附-精馏-鼓泡联用纯化系统对WF6进行纯化。通过吸附除去WF6中的氟化氢(HF)杂质;设计精馏塔进行精馏实验除去其他轻组分杂质,并同时进行鼓泡纯化。研究表明吸附法对于WF6中的HF有很好的去除效果,可将WF6中HF的含量降到1×10-6以下;精馏-鼓泡联用能将气相杂质的含量降到1×10-6以下,经此纯化操作可以得到纯度为99.999%的高纯WF6。将精馏-鼓泡应用于WF6的纯化有着分离效果好、经济性好的优点,适用于工业化的生产。
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| 关 键 词： | 六氟化钨 吸附 精馏 鼓泡 |
Purification Technics of High Purity Tungsten Hexafluoride |
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| Liu Tong,Wang Shao-bo,Ji Zhen-hong,Wang Zhan-wei. Purification Technics of High Purity Tungsten Hexafluoride[J]. Chemical Defence on Ships, 2008, 0(6) |
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| Authors: | Liu Tong Wang Shao-bo Ji Zhen-hong Wang Zhan-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Tungsten hexafluoride Adsorb Rectify Bubbling purification |
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