基于应力差改善的SiC模块用氮化硅衬板匹配性研究

功率半导体器件的快速发展,特别是SiC功率模块的广泛应用对模块中的陶瓷覆铜衬板提出了更高要求,模块封装中陶瓷覆铜衬板的翘曲将影响其可靠性。文章研究了陶瓷覆铜衬板的应力状态以及应力与衬板翘曲的关系,并提供了包括延长冷却时间、降低峰值温度、调整铜体积比在内的减小翘曲度的改善方案,使衬板与SiC模块匹配性得到提升,从而提升了模块可靠性。