| 石英晶体在真空镀膜测厚技术中的应用研究 |
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| 引用本文： | 贾石峰,吴蓉.石英晶体在真空镀膜测厚技术中的应用研究[J].兰州铁道学院学报,2002,21(4):58-60. |
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| 作者姓名： | 贾石峰 吴蓉 |
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| 作者单位： | 贾石峰（兰州铁道学院,信息与电气工程学院,甘肃,兰州,730070）
吴蓉（兰州铁道学院,信息与电气工程学院,甘肃,兰州,730070） |
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| 摘 要： | 基于石英晶体振荡原理，提出了在真空状态下的一种超薄型镀膜测厚方法，介绍了该项测厚技术的基本电气原理，研究了测厚过程中石英晶体材料的选取方法和组织实施原则。石英晶体应具有固定的技术参数，并被安放于真空舱内的正确位置。密闭的石英晶体探头通过同轴电缆与外部振荡器相连，振荡器输出的频率信号由微机进行处理，将频率信号转化为厚度值。
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| 关 键 词： | 真空镀膜测厚技术 石英晶体 厚度测量 振荡频率 |
| 文章编号： | 1001-4373(2002)04-0058-03 |
| 修稿时间： | 2002年4月30日 |
Application Research of Quartz Crystal in the Technology of Thickness Survey under Vacuum State |
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