高纯六氟化钨中气相杂质分析方法研究

本文选择配备氦离子化检测器的气相色谱分析高纯WF6(99.999%)中微量气体杂质。设计了一套双通道反吹气路,采用十通阀切换实现了六氟化钨与气相轻组分分离后的反吹,避免了六氟化钨对分析柱及检测器的腐蚀。通过实验选择最佳的色谱参数条件及反吹时间,分别采用不同的气路系统实现了WF6中的微量CF4、CO2、SF6及O2+Ar、N2、CO的分离分析。