| Fe／Ti纳米多层薄膜退火初期的扩散行为 |
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| 引用本文： | 彭天祥,吴志立,朱雪梅,雷明凯.Fe／Ti纳米多层薄膜退火初期的扩散行为[J].大连铁道学院学报,2006,27(3):66-69. |
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| 作者姓名： | 彭天祥 吴志立 朱雪梅 雷明凯 |
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| 作者单位： | 大连交通大学材料科学与工程学院 辽宁大连116028(彭天祥，朱雪梅)，大连理工大学材料科学与工程学院 辽宁大连116024(吴志立，雷明凯) |
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| 摘 要： | 采用双室高真空磁控溅射装置在溅射功率60 W和工作气压0.5 Pa下直流磁控溅射沉积了调制比为1,设计调制周期18.0 nm的Fe/Ti纳米多层薄膜.利用横截面透射电镜(XTEM)、差示扫描量热分析仪(DSC)及小角和广角X射线衍射(SA/WAXRD)分析退火初期的扩散行为.实测调制周期16.2nm,原始沉积Fe/Ti纳米多层薄膜由交替生长的纳米多晶α-Fe和α-Ti组成,调制界面清晰.Fe/Ti纳米多层薄膜热失稳过程包括亚层间的扩散、金属间化合物FeTi形成和长大3个阶段.退火温度为473 K时,保持与原始沉积相同的成分调制结构;退火温度升高到523 K,Fe与Ti亚层间发生互扩散,成分调制结构破坏,但相变未发生;达到最高退火温度623 K,过饱和固溶体α-Fe(Ti)和金属间化合物FeTi形成.
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| 关 键 词： | Fe/Ti纳米多层薄膜 加热退火 扩散 金属间化合物 |
| 文章编号： | 1000-1670（2006）03-0066-04 |
| 收稿时间： | 2006-03-29 |
Diffusion in Initial Stage of Thermal Annealing of Fe/Ti Nanometer-Scale Multilayers |
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| PENG Tian-xlang , WU Zhi-li, ZHU Xue-mei, LRI Ming-kai.Diffusion in Initial Stage of Thermal Annealing of Fe/Ti Nanometer-Scale Multilayers[J].Journal of Dalian Railway Institute,2006,27(3):66-69. |
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| Authors: | PENG Tian-xlang WU Zhi-li ZHU Xue-mei LRI Ming-kai |
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| Institution: | 1. School of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China ;2 Surface Engineering Laboratory, School of Materials Science and Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024 ,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Fe/Ti nanometer-scale multilayer diffusion thermal annealing Intermetallics |
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