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| SEMI C3．52-0200 99．996％六氟化钨（WF6）标准 | |
| 引用本文： | 李翔宇.SEMI C3．52-0200 99．996％六氟化钨（WF6）标准[J].舰船防化,2005(4):43-48. |
| 作者姓名： | 李翔宇 |
| 摘 要： | 该标准是由全球气体委员会技术批准，北美委员会直接负责。本版是由北美区域标准委员会于1999年11月15日批准。2000年2月开始生效（www．semi．org），2000年2月出版。原版于1995年出版，再版于1996年。 |
| 关 键 词： | 区域标准 SEMI 六氟化钨 C3 委员会 semi 北美 出版 |
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