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微接触印刷法诱导沉积NH4Cl微图形结构
引用本文:杨小敏,刘建平,夏坚,王卫.微接触印刷法诱导沉积NH4Cl微图形结构[J].华东交通大学学报,2006,23(4):163-165.
作者姓名:杨小敏  刘建平  夏坚  王卫
作者单位:华东交通大学,化学化工系,江西,南昌,330013;华东交通大学,化学化工系,江西,南昌,330013;华东交通大学,化学化工系,江西,南昌,330013;华东交通大学,化学化工系,江西,南昌,330013
基金项目:华东交通大学校科研和教改项目
摘    要:以聚二甲基硅氧烷有机硅橡胶(PDMS)为弹性印章,十八烷基三氯硅烷(OTS)的正已烷溶液为“墨水“,用微接触印刷技术使普通显微盖玻璃基片表面形成诸多具有不同浸润性的图形化微区,将基片放入氯化铵气体中沉积形成氯化铵微图形结构.讨论了沉积时间、基片表面预处理方式对微图形精细度的影响.

关 键 词:微接触印刷  选择性气相沉积  微图形
文章编号:1005-0523(2006)04-0163-03
修稿时间:2006年5月13日

Micropatterns of NH4Cl Induced Deposition by Microcontact Printing
YANG Xiao-min,LIU Jian-ping,XIA Jian,WANG Wei.Micropatterns of NH4Cl Induced Deposition by Microcontact Printing[J].Journal of East China Jiaotong University,2006,23(4):163-165.
Authors:YANG Xiao-min  LIU Jian-ping  XIA Jian  WANG Wei
Abstract:Using polydimethylsiloxane(PDMS) as elastomeric stamp and Octadecyltrichlorosilane(OTS) /n-hexane solutions as "ink",patterned glass substrate with different wetting properties was obtained by processing microcontact printing.When the glass substrate was hang among the ammonium chloride gas,the induced deposition of NH4Cl was taken place only on OTS micro-zone.The influence of the deposition time and the cleanness of glass substrate on pattern contrast were also discussed in detail.
Keywords:microcontact printing  selective deposition  micropatterns
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