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表面分析技术有哪些?
摘 要:
表面科学是上世纪60年代后期发展起来的一门学科。表面是指固体表面几个原子的薄层。这层原子既受体内原子的束缚,又受到表面特殊环境的影响。表面成分、结构、化学状态等与体内不同,而表面特性对材料的物理、化学等性能影响很大。表面分析就是对固体最外层数个纳米内表面及薄层的组分、结构和能态的分析。随着人们对表面分析的需要以及真空、电了技术的发展,现代表面分析技术有扫锚电镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)、俄歇能谱(AES)、离子探针(IMA)、电子探针(EPMA)等。
关 键 词:
表面分析技术
X射线光电子能谱(XPS)
固体表面
化学状态
表面科学
特殊环境
表面成分
表面特性
俄歇能谱
离子探针
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