一种基于锥镜的光学非接触位移测量的新方法

介绍了一种基于锥镜（axicon）的非接触光学位移测量的新方法，可用于精密表面和超精密表面的位移测量。其特点是量程较大，分辨率高（最小可至0.1μm)。另外，该方法可允许被测表面有小角度的倾斜，且不受测头与被测表面之间的孔径光阑的影响，是一种可用于在线光学测量的方法。