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| 沉积原子入射动能对失配位错形成的研究 | |
| 引用本文： | 黄俊.沉积原子入射动能对失配位错形成的研究[J].中国电动车,2011(6):29-30. |
| 作者姓名： | 黄俊 |
| 作者单位： | 江西省丰城市第二中学; |
| 摘 要： | 本文运用分子动力学模拟方法,详细研究了单个入射原子对外延铝簿膜中失配位错的诱发作用。模拟结果显示：入射动能足够大的单原子对外延薄膜中失配位错的形成有诱发作用。原子在600K下入射到失配度为-0.06,15个原子层厚且表面光滑的外延铝薄膜时,入射动能只要大于等于0.14eV就可以诱发失配位错的形成。 |
| 关 键 词： | 沉积原子 外延薄膜 失配位错 分子动力学 |
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