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高纯超细SiO2粉末制备工艺研究
作者姓名:王智  吴重庆  赵宏静
摘    要:对高温CVD和LICVD制备高纯钠米SiO2粉末工艺进行了理论分析,并通过系统的实验研究,制取了大量极细颗粒SiO2粉末。对制备的粉末进行透射电分析,比较了两种工艺的优劣。

关 键 词:高温 CVD LICVD 纳米粉末 二氧化硅
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