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杂志ISSN号
高纯超细SiO2粉末制备工艺研究
作者姓名:
王智
吴重庆
赵宏静
摘 要:
对高温CVD和LICVD制备高纯钠米SiO2粉末工艺进行了理论分析,并通过系统的实验研究,制取了大量极细颗粒SiO2粉末。对制备的粉末进行透射电分析,比较了两种工艺的优劣。
关 键 词:
高温 CVD LICVD 纳米粉末 二氧化硅
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