高纯六氟化钨中金属杂质的分析

本文结合六氟化钨的性质,对超高纯(99.999%)六氟化钨中的金属粒子进行分析。本文设计了一个密闭的半定量取样管路,可以准确的完成对六氟化钨中金属粒子的取样。完成取样后,根据各种金属粒子的溶解性质,将所取金属粒子定量转化为待测溶液,然后利用电感耦合等离子质谱分析得到六氟化钨样品中各种金属粒子的含量。