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| 三氟化氮纯化方法综述 | |
| 引用本文： | 彭立培,王少波,李绍波,付嫚. 三氟化氮纯化方法综述[J]. 舰船防化, 2007, 0(1): 38-43 |
| 作者姓名： | 彭立培 王少波 李绍波 付嫚 |
| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸056027 |
| 摘 要： | 介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法。为了满足电子工业对其纯度要求,采用的纯化方法有:低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术。 |
| 关 键 词： | 三氟化氮 纯化 精馏 吸收 吸附 |
Summary on Purification Methods for Nitrogen Trifluoride |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Nitrogen trifluoride Purification Distillation Absorption Adsorption |
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