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| 影响CVD法形成VB2薄膜的因素 | |
| 引用本文： | 周传久.影响CVD法形成VB2薄膜的因素[J].大连铁道学院学报,1995,16(3):74-79. |
| 作者姓名： | 周传久 |
| 摘 要： | 研究了反应气体的化学当量比、基板材料、基板温度对ＣＶＤ法形成ＶＢ２薄膜的影响。结果表明，化学当量经，绒板材料影响薄膜中ＶＢ２的含量，基板温度影响结晶粒子形态。 |
| 关 键 词： | 化学气相沉积 薄膜 二硼化钒 |
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