电子气体分析方法综述

本文概述了电子气体的种类、纯度以及其应用状况,综述了电子气体中几种常见杂质包括氧气、一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物、水分的不同分析方法以及几种特殊杂质氟化氢和金属粒子的不同处理方法,文中详细说明了各种分析方法如：比色法、黄磷发光法、电化学法、传感器法、电解法、露点法的测定原理以及具体的分析步骤,另外针对近年来发展的几种新型分析方法色谱-质谱、色谱-红外光谱、色谱-原子光谱做了简单介绍,指出了电子气体分析方法的重要意义及发展前景。