基于等离子体离子注入法的表面改性技术

近年来,等离子体技术、离子注入技术及脉冲控制技术等获得了显著发展,作为组合以上技术的等离子体离子注入法,已经在各种工业零件、产品上实现了实用化。介绍等离子体离子注入法的原理、结构,表面改性的机理,并概述新的研究成果。