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| 浅谈MEMS技术（微电子机械系统） | |
| 引用本文： | MikeDale 魏巍.浅谈MEMS技术（微电子机械系统）[J].汽车维修与保养,2002(9):49-50. |
| 作者姓名： | MikeDale 魏巍 |
| 摘 要： | MEMS(微电子机械系统)技术为我们带来了具有传感和执行功能的电子器件,它们的价格更为便宜,技术更为成熟。 |
| 关 键 词： | MEMS技术 微电子机械系统 汽车 传感器 |
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