利用激光实时点扫描成象监测／检测物体表面系统

激光实时点扫描成象已成为一种深具潜力的监测与研究手段，并具有在半导体工业，荧光显微成象和生物诊断领域广泛应用的前景。本文讨论利用激光点扫描成象的基本原理和检测光路的实现，讨论影响扫描成象的基本因素和扫描成象的技术指标。并探讨了利用激光点扫描成象实现监测／检测物体表面的初步研究结果。