电涡流传感器在磁悬浮轴承位移测量中的应用研究

位移信号传感器作为磁悬浮轴承系统的一个反馈回路,用来检测转子的位移信号,并将该信号传送给控制器,作为控制器进行控制和调节的参考信号,位移传感器工作性能的好坏将决定着整个控制系统能否正常工作。当前应用于磁轴承位移测量的主要有电涡流传感器,差动变压器式位移传感器等几种非接触测量传感器。本文将对电涡流传感器的应用情况及其出现的问题进行讨论和分析。