一种低廉快速的多功能扫描探针显微镜的研究

采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置，使成本极大地下降。采用锁相环电路可将系统频响从1Hz提高到1kHz，通过对光栅试件的检测，证明本种检测方法是可行的。同时在微石英晶振前端安装不同种类的细针，可实现STM、AFM、MFM和EFM的测量，构成一机多能系统。