| 溶胶凝胶法制备ZAO薄膜 |
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| 引用本文： | 董晓刚,王炜,沈长斌,薛钰芝,孙贤盛.溶胶凝胶法制备ZAO薄膜[J].大连交通大学学报,2006,27(1):79-82. |
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| 作者姓名： | 董晓刚 王炜 沈长斌 薛钰芝 孙贤盛 |
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| 作者单位： | 大连交通大学,环境科学与工程学院,辽宁,大连,116028;大连交通大学,环境科学与工程学院,辽宁,大连,116028;大连交通大学,环境科学与工程学院,辽宁,大连,116028;大连交通大学,环境科学与工程学院,辽宁,大连,116028;大连交通大学,环境科学与工程学院,辽宁,大连,116028 |
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| 摘 要： | 采用Sol-Gel法在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、可导电的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜.利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征.研究结果表明:所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构表面平整、致密.通过标准四探针法测定了Al3+离子掺杂的ZnO电阻率,证实了薄膜的导电性.实验发现,当离子掺杂浓度为1.5%,前处理温度为300℃,退火温度为600℃,薄膜的质量最好.
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| 关 键 词： | Sol-Gel ZnO Al3+离子掺杂 透明导电薄膜 |
| 文章编号： | 1000-1670(2006)01-0079-04 |
| 修稿时间： | 2005年9月22日 |
Aluminum-Doped ZnO Transparent Conducting Thin Films by Sol-Gel Method |
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| DONG XIAO-gang,WANG Wei,SHEN Chang-bin,XUE Yu-zhi,SUN Xian-sheng.Aluminum-Doped ZnO Transparent Conducting Thin Films by Sol-Gel Method[J].Journal of Dalian Jiaotong University,2006,27(1):79-82. |
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| Authors: | DONG XIAO-gang WANG Wei SHEN Chang-bin XUE Yu-zhi SUN Xian-sheng |
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| Keywords: | Sol-Gel ZnO |
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