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| 硅微型角速度传感器信号分析与处理 | |
| 作者姓名： | 苏岩 周百令 王寿荣 |
| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程系,东南大学仪器科学与工程系,东南大学仪器科学与工程系 南京 210096,南京 210096,南京 210096 |
| 摘 要： | 介绍了一种新型硅微型角速度传感器的工作原理,详细分析了该传感器的干扰成分,提出了消除干扰力矩影响的信号处理方法。设计了静电力反馈控制方案,并进行了计算机仿真,证明该方法具有实用性。 |
| 关 键 词： | 角速度传感器 信号处理 模拟仿真 |
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