| 阵列MEMS测斜仪高精度误差补偿方法研究 |
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| 引用本文： | 李中国,蔡德钩,赵勇,刘文武.阵列MEMS测斜仪高精度误差补偿方法研究[J].铁道建筑,2022(1):153-157. |
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| 作者姓名： | 李中国 蔡德钩 赵勇 刘文武 |
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| 作者单位： | 中国铁道科学研究院集团有限公司铁道建筑研究所 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2018YFC1505300)。 |
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| 摘 要： | 受制造工艺和本身系统误差的影响,基于微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)的测斜仪初始精度较低.针对这一问题,提出一种综合性补偿算法,对MEMS的测斜仪进行校准和修正,保证其测量的有效性和可靠性.对基于阵列式的MEMS测斜仪进行系统性建模,综合考虑测斜仪零偏、标度因数...
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| 关 键 词： | 滑坡 边坡失稳 MEMS 深层位移 测斜仪 校准补偿 |
Study of High Precision Error Compensation Method of Array MEMS Inclinometer |
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| LI Zhongguo,CAI Degou,ZHAO Yong,LIU Wenwu.Study of High Precision Error Compensation Method of Array MEMS Inclinometer[J].Railway Engineering,2022(1):153-157. |
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| Authors: | LI Zhongguo CAI Degou ZHAO Yong LIU Wenwu |
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| Institution: | (Railway Engineering Research Institute,China Academy of Railway Sciences Corporation Limited,Beijing 100081,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | landslide slope instability MEMS deep displacement inclinometer calibration compensation |
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