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分类号
杂志ISSN号
高压离子轰击源控制与保护研究
作者姓名:
邓志杰
摘 要:
介绍了真空镀膜设备中高压离子轰击源的电路构成以及在“离子清洗”工艺过程和“离子聚合”工艺过程的工作原理,同时论述了对于过流现象所采取的一些软,硬件保护措施。
关 键 词:
真空镀膜 高压离子轰击源 过流保护
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