高压离子轰击源控制与保护研究

介绍了真空镀膜设备中高压离子轰击源的电路构成以及在“离子清洗”工艺过程和“离子聚合”工艺过程的工作原理，同时论述了对于过流现象所采取的一些软，硬件保护措施。