超高纯WF6的制备方法

本发明阐述了一种生产超高纯WF6的方法，此方法是先让一定量的WF6原料气经过蒸馏分离成一定量的含有WF6的易挥发组分和一定量含有金属杂质的难挥发部分，然后，把含有WF6的易挥发组分经过气相吸附过程分离得到不定期一量的半成品WF6产品和适量的HF，然后，将半成品WF6产品用超高纯He吹扫搅拌从而得到稳定的超高纯WF6产品。