超高纯WF6的制备方法 |
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作者姓名: | Salim |
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摘 要: | 本发明阐述了一种生产超高纯WF6的方法,此方法是先让一定量的WF6原料气经过蒸馏分离成一定量的含有WF6的易挥发组分和一定量含有金属杂质的难挥发部分,然后,把含有WF6的易挥发组分经过气相吸附过程分离得到不定期一量的半成品WF6产品和适量的HF,然后,将半成品WF6产品用超高纯He吹扫搅拌从而得到稳定的超高纯WF6产品。
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关 键 词: | 超高纯六氟化钨 制备方法 原料气 电子制备工艺 半导体 杂质 蒸馏 气体搅拌系统 工艺流程 |
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