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| 溶胶—凝胶法制备P型氧化物薄膜晶体管的研究进展 | |
| 引用本文： | 张加乐,袁星,王永康,曾思哲,邓申毅,窦威.溶胶—凝胶法制备P型氧化物薄膜晶体管的研究进展[J].中国电动车,2022(1):14-16. |
| 作者姓名： | 张加乐 袁星 王永康 曾思哲 邓申毅 窦威 |
| 摘 要： | 目前,关于氧化物薄膜晶体管(TFT)的报道大部分是关于n型的.为进一步扩大集成电路的应用范围,需要制造稳定、高性能的P型氧化物TFT.传统的真空镀膜技术依赖于昂贵的设备、苛刻的真空环境等,不仅增加了生产成本,而且不利于大面积器件的制备.溶胶—凝胶法工艺成本低,操作简单,易实现大规模制备.文章重点阐述了溶胶—凝胶法和几种... |
| 关 键 词： | 薄膜晶体管 P型半导体材料 溶胶—凝胶法 |