| 双离子束溅射淀积DLC膜的结构分析 |
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| 引用本文： | 刘贵昂.双离子束溅射淀积DLC膜的结构分析[J].西南交通大学学报,1997,32(1):6-10. |
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| 作者姓名： | 刘贵昂 |
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| 作者单位： | 西南交通大学峨眉分校 |
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| 摘 要： | 用双离子束溅射法在５０℃以下的基底上淀积了类金刚石（ＤＬＣ）膜。对ＤＬＣ膜采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜及拉曼谱仪进行了结构分析。通过对扫描电子显微镜观察，发现在ＤＬＣ膜中存在金刚石微晶。通过透射电子显微镜分析，确定金刚石微晶具有面心立方结构，计算出的晶格常数与标准值基本相同。通过拉曼光谱分析后，进一步验证了薄膜中金刚石微晶的存在并得出了膜中ＳＰ＾３Ｃ－Ｃ键所占的比例。
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| 关 键 词： | 结构分析 类金刚石膜 双离子束溅射法 |
Structure Analysis of DLC Films Preparedby Dual Ion Beam Sputtering Method |
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| Liu,Guiang.Structure Analysis of DLC Films Preparedby Dual Ion Beam Sputtering Method[J].Journal of Southwest Jiaotong University,1997,32(1):6-10. |
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| Authors: | Liu Guiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | dual ion sputtering deposition DLC films structure analysis |
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