真空镀膜工艺概述（续）

（2）溅射式喷镀法（a）溅射原理大气中存在着10的19次方个每立方厘米的氧气和氮气等气体分子，它们以500米／秒的速度运动着。运动速度加快后其对物体的冲击力也将增强，并有可能侵入到固体的内部。侵入固体内的原子（或分子）将会与形成固体的原子发生冲突，这种原子问的冲突会诱发二次的冲突。