| Ta:SnO2薄膜的制备与性能研究 |
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| 引用本文： | 秦国强,封雅宏,张光磊,杨亮亮,张娟娟,马岳峰.Ta:SnO2薄膜的制备与性能研究[J].石家庄铁道学院学报,2013,26(2). |
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| 作者姓名： | 秦国强 封雅宏 张光磊 杨亮亮 张娟娟 马岳峰 |
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| 作者单位： | 1. 石家庄铁道大学材料科学与工程学院,河北石家庄,050043
2. 石家庄市张石高速公路筹建处,河北石家庄,050000 |
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| 基金项目： | 河北省自然科学基金，石家庄市科技支撑项目，石家庄铁道大学科研启动项目 |
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| 摘 要： | SnO2作为一种典型的宽带隙半导体材料具有许多优异的物理和化学性质,例如极高的电子电导率、可见光透过率和化学稳定性,因此广泛用于光电材料、太阳能电池和气敏材料等各领域.采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了Ta掺杂SnO2透明导电薄膜,其中Ta含量在8atom.％左右.Ta:SnO2薄膜的表面形貌较平整,但由于局部应力使薄膜出现了细小的断裂.Ta:SnO2薄膜为金红石结构,结晶程度较高,由于Ta5+、Sn4离子半径接近,Ta原子溶入SnO2的晶格中置换Sn原子位置形成了稳定均一的固溶体结构,因此没有第二相出现,但是其晶格常数略有变化.
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| 关 键 词： | 溶胶凝胶法 Ta掺杂SnO2 光学和电子性质 |
Preparation and Properties of Ta Doped SnO2 Film |
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| Qin Guoqiang
,
Feng Yahong
,
Zhang Guanglei
,
Yang Liangliang
,
Zhang Juanjuan
,
Ma Yuefeng.Preparation and Properties of Ta Doped SnO2 Film[J].Journal of Shijiazhuang Railway Institute,2013,26(2). |
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| Authors: | Qin Guoqiang Feng Yahong Zhang Guanglei Yang Liangliang Zhang Juanjuan Ma Yuefeng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel method Ta doped SnO2 film optical and electrical properties |
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