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表面形貌的全息式非接触光学测量方法
引用本文:
王晓飞,罗鸿逵.表面形貌的全息式非接触光学测量方法[J].北方交通大学学报,1998,22(4):79-82.
作者姓名:
王晓飞
罗鸿逵
作者单位:
[1]北方交通大学电子信息工程学院 [2]机械与电气工程学院
摘 要:
讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法。此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件,作为离焦检测元件,提高了测量精度和范围。
关 键 词:
表面形貌
全息光学元件
非接触光学测量
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